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快反镜/扫描镜/偏摆台

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大镜面尺寸MEMS扫描镜

无转向节二维MEMS扫描镜,超低功耗,大角度超快二维扫描!

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大镜面尺寸微型扫描镜


光学扫描镜是一种优秀的矢量扫描设备,能使入射光束按照特定的方式与时间顺序发生反射,从而在像面上实现扫描成像.传统的光学扫描镜体积大、成本高,且多为散装,大大限制了其应用。相较于传统的扫描镜,MEMS扫描镜具有尺寸小、成本低、扫描频率高、响应速度快和功耗低等优点,以被广泛的应用在光通信、扫描成像、激光雷达、内窥镜、3D扫描成像等领域。

按照扫描维度不同,MEMS扫描镜可以分为一维扫描镜和二维扫描镜,一维扫描镜是指在镜面在一个维度内偏转,二维扫描镜是指沿着两个方向同时对光束进行调节。实现二维扫描,可以选用两个一维的扫描镜,也可以选用两个一个二维的扫描镜。相比较而言二维扫描镜功能更强大,但是结构也更复杂,控制的难度也就越大。

按照驱动方式的不同,MEMS扫描镜可以分为静电驱动、电磁驱动、压电驱动和电热驱动四种驱动方式。电热驱动是,利用电能转换为热能,再转换为机械能驱动,其优点是驱动力和驱动位移较大,但是响应速度较慢。压电驱动是利用压电材料的压电效应实现驱动,具有驱动力大、响应速度快等优点,但是压电材料存在迟滞现象。电磁驱动是利用电磁或者永磁体实现驱动,具有较大的驱动力力和驱动位移,但是响应速度偏慢,且容易受到电磁干扰。静电驱动是利用带电导体间的静电作用力实现驱动,具有功耗低、速度快、兼容性好等优点。是目前使用很广泛的驱动方式。下图给出了各种驱动方式的性能对比


驱动方式

速度

幅度

电压

压电驱动

电磁驱动

热驱动

较低

静电驱动

较小


上海亚美游推出的微型振镜为电磁驱动。该款MEMS扫描镜拥有较大的镜面尺寸,因此选用可以提供更大驱动力的电磁驱动方式。上海亚美游光电推出的电磁驱动MEMS微型振镜主要分为两款。

 1)一维电磁驱动微型振镜,该款微型振镜的尺寸可达到14.2mm,光学偏转角度可达到±10°。扫描频率最快可达到250Hz。



2)二维电磁驱动微型振镜,其由两个一维MEMS微型振镜组成,可接受的最大激光光斑为8mm,在X和Y方向的偏角可分别达到±10°。

 

u主要特点:

l大的镜面尺寸(14.2mm)

l大的光学偏角

l高重复精度

l可实现静态扫描模式(受迫振动)


u主要应用:

l激光雷达

l3D位置测量

l激光打标、雕刻

l光束偏转、扫描


u主要参数:





Single-axis  magnetic mirror

Dual-axes magnetic mirror

Unit

Min

Typ

Max

Min

Typ

Max

Max actuation Current

mA



200



200

Max actuation Power

mW



300



300

Surface finish



AU/AL



AU/AL


Reflectivity (800-2000 nm)

%

95






Mirror Size (round/elliptical)

mm


14.2 /14.2´10




Beam diameter 8 mm

Mirror Flatness (ROC)

m

10



10



Tilt Angle DC (mechanical)

°

±4


±5

±4


±5

Resonance Frequency

Hz

160/200

190/240


200 (X axis )   250 (Y axis)

 



 



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亚美游AMG88标签:微机电扫描镜,MEMS扫描镜,MEMS Mirror,MicroMirror,Microscanner,Micro-scanning Mirror,微振镜,微型振镜

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